全球光刻膠市場主要被日本、美國等國家的企業(yè)所占據(jù)。日本的光刻膠技術(shù)處于領(lǐng)xian地位，全球五大光刻膠生產(chǎn)商中，有四家來自日本，他們手握全球70%以上的市場份額。我國在光刻膠領(lǐng)域起步較早，但由于多種原因曾一度落后，近年來我國企業(yè)不斷加大研發(fā)投入，在光刻膠技術(shù)上取得了一些突破，部分產(chǎn)品已經(jīng)通過了量產(chǎn)驗(yàn)證。在半導(dǎo)體芯片制造中，光刻膠是關(guān)鍵材料之一，光固化劑作為光刻膠的核心組成部分，吸收光能后引發(fā)化學(xué)反應(yīng)，使光刻膠在曝光區(qū)域發(fā)生固化，從而實(shí)現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移和芯片的制造。

高品質(zhì)光固化劑的重要性

   半導(dǎo)體光刻膠是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中一種對光敏感的關(guān)鍵材料，主要由高品質(zhì)光固化劑、感光樹脂、溶劑、添加劑組成。光固化劑是在特定的光照條件下引發(fā)化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移。光固化劑的品質(zhì)決定光刻膠的性能好壞。
  (1) 影響制程精度
   隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，芯片集成度越來越高，對光刻膠的分辨率要求也日益嚴(yán)苛。高分辨率的光刻膠和高品質(zhì)光固化劑能夠?qū)崿F(xiàn)更小的線寬和更復(fù)雜的圖案，制造出性能更優(yōu)越的芯片。
  (2) 關(guān)乎芯片良率
   在半導(dǎo)體制造的復(fù)雜工藝流程中，光刻膠需要經(jīng)受高溫、化學(xué)腐蝕等多種ji端條件的考驗(yàn)，其穩(wěn)定性和可靠性對于芯片的良率至關(guān)重要。如果沒有高品質(zhì)光固化劑，光刻膠性能就不穩(wěn)定，容易導(dǎo)致圖案變形、缺陷等問題，降低芯片的良率。
  (3) 推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展
   光刻膠、高品質(zhì)光固化劑的研發(fā)和創(chuàng)新能夠突破現(xiàn)有的制程限制，為半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步開辟新的道路，是推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要?jiǎng)恿χ弧?br />
   為了生產(chǎn)出性能更加優(yōu)良、可滿足市場需求的高品質(zhì)光固化劑，已有多個(gè)客戶訂購了龍鑫牌低溫防爆沸騰干燥機(jī)。江蘇龍鑫在閉路循環(huán)干燥機(jī)領(lǐng)域有獨(dú)特心得，在充分溝通了解客戶需求和高品質(zhì)光固化劑物料特性、工藝要求的前提下，以成熟先進(jìn)的工藝技術(shù)精心設(shè)計(jì)制造設(shè)備。

半導(dǎo)體光刻膠重要成分光固化劑甲醇溶劑蒸發(fā)專用閉路循環(huán)沸騰干燥機(jī) 工作原理

  (1) 物料準(zhǔn)備階段
   物料特性分析：光固化劑作為一種對溶劑殘留量要求非常高的物料，在干燥前需充分了解其物理特性，如粒度分布、密度、流動(dòng)性等，以及化學(xué)特性，如熱穩(wěn)定性、是否易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)等。這些特性將直接影響到干燥過程中的參數(shù)設(shè)置和設(shè)備的選擇。例如，如果物料粒度較小且易團(tuán)聚，可能需要在干燥前進(jìn)行預(yù)處理，如添加分散劑或進(jìn)行預(yù)分散操作，以保證物料在干燥過程中能夠均勻受熱和干燥。
   物料預(yù)處理：對光固化劑進(jìn)行過濾、洗滌等預(yù)處理操作，去除其中的雜質(zhì)和不需要的成分，確保進(jìn)入干燥機(jī)的物料純度符合要求。同時(shí)，對于含濕量較高的物料，可以進(jìn)行初步的脫水處理，以提高干燥效率。
  (2) 干燥系統(tǒng)準(zhǔn)備階段
   設(shè)備選型與調(diào)試：選擇適合光固化劑甲醇溶劑蒸發(fā)的閉路循環(huán)沸騰干燥機(jī)，確保設(shè)備的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)和性能能夠滿足工藝要求。例如，設(shè)備內(nèi)部應(yīng)采用耐腐蝕、不易與光引發(fā)劑發(fā)生反應(yīng)的材質(zhì)，如不銹鋼等。在設(shè)備安裝完成后，進(jìn)行嚴(yán)格的調(diào)試和試運(yùn)行，檢查設(shè)備的密封性、加熱系統(tǒng)、通風(fēng)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等是否正常工作。
   惰性氣體準(zhǔn)備：由于光固化劑可能具有易燃易爆的特性，且需要在無氧環(huán)境下進(jìn)行干燥，因此需要準(zhǔn)備足量的惰性氣體，如氮?dú)狻Ｔ诟稍锵到y(tǒng)啟動(dòng)前，用惰性氣體對系統(tǒng)進(jìn)行置換，將系統(tǒng)內(nèi)的空氣排出，使氧氣含量降低到安全范圍內(nèi)。同時(shí)，設(shè)置氧氣傳感器等監(jiān)測設(shè)備，實(shí)時(shí)監(jiān)測系統(tǒng)內(nèi)的氧氣含量，確保干燥過程的安全。
   溶劑回收系統(tǒng)準(zhǔn)備：設(shè)置好溶劑回收系統(tǒng)，包括冷凝器、儲罐等設(shè)備。冷凝器的選型和設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)甲醇溶劑的特性和蒸發(fā)量進(jìn)行，確保能夠有效地將甲醇溶劑冷凝回收。儲罐應(yīng)具有足夠的容量和良好的密封性，以便儲存回收的甲醇溶劑。
  (3) 干燥過程控制階段
   溫度控制：根據(jù)光固化劑的熱穩(wěn)定性和干燥要求，精que控制干燥機(jī)的進(jìn)風(fēng)溫度和出風(fēng)溫度。進(jìn)風(fēng)溫度是影響干燥速度和干燥效果的重要因素，一般來說，進(jìn)風(fēng)溫度越高，干燥速度越快，但過高的溫度可能會導(dǎo)致光引發(fā)劑發(fā)生分解或變質(zhì)。因此，需要通過實(shí)驗(yàn)確定合適的進(jìn)風(fēng)溫度范圍，并在干燥過程中保持溫度的穩(wěn)定性。出風(fēng)溫度則可以反映物料的干燥程度，當(dāng)出風(fēng)溫度達(dá)到一定值且穩(wěn)定一段時(shí)間后，可以判斷物料已經(jīng)干燥完成。
   風(fēng)量控制：合理控制干燥機(jī)的通風(fēng)量，確保物料能夠在沸騰狀態(tài)下與熱空氣充分接觸，提高干燥效率。風(fēng)量過大可能會導(dǎo)致物料過度飛揚(yáng)，增加物料的損失和粉塵排放；風(fēng)量過小則會影響物料的沸騰效果，降低干燥速度。可以通過調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速或設(shè)置風(fēng)門等方式來控制風(fēng)量。
   干燥時(shí)間控制：根據(jù)物料的含濕量、干燥速度等因素，確定合適的干燥時(shí)間。干燥時(shí)間過短，物料可能無法完全干燥，導(dǎo)致溶劑殘留量超標(biāo)；干燥時(shí)間過長，不僅會增加能源消耗，還可能會影響物料的質(zhì)量。可以通過在線監(jiān)測物料的濕度或重量等參數(shù)，實(shí)時(shí)掌握物料的干燥程度，以便及時(shí)調(diào)整干燥時(shí)間。
  (4) 出料與后處理階段
   出料操作：在干燥完成后，采用密閉的出料方式，避免物料與外界空氣接觸。例如，可以使用翻板機(jī)構(gòu)和密閉輸送系統(tǒng)等設(shè)備，在全密閉條件下將干燥后的物料排出干燥機(jī)。
   物料冷卻：出料后的物料溫度較高，需要進(jìn)行冷卻處理。可以采用自然冷卻或強(qiáng)制冷卻的方式，如使用冷卻風(fēng)機(jī)或水冷裝置等，將物料冷卻至合適的溫度，以便后續(xù)的包裝和儲存。
   質(zhì)量檢測：對干燥后的光固化劑進(jìn)行質(zhì)量檢測，包括溶劑殘留量、粒度分布、純度等指標(biāo)的檢測。只有符合質(zhì)量要求的產(chǎn)品才能進(jìn)入下一道工序或包裝儲存。
  (5) 系統(tǒng)清潔與維護(hù)階段
   系統(tǒng)清潔：定期對干燥系統(tǒng)進(jìn)行清潔，包括干燥機(jī)內(nèi)部、管道、冷凝器、儲罐等設(shè)備。清除設(shè)備內(nèi)部的積塵、物料殘留和污垢，以保證設(shè)備的正常運(yùn)行和干燥效果。可以使用高壓氣體吹掃、清洗劑清洗等方式進(jìn)行清潔。
   設(shè)備維護(hù)：對干燥系統(tǒng)的設(shè)備進(jìn)行定期維護(hù)和保養(yǎng)，包括檢查設(shè)備的密封性、磨損情況、電氣系統(tǒng)等。及時(shí)更換磨損的部件，修復(fù)故障設(shè)備，確保設(shè)備的性能和使用壽命。同時(shí)，建立設(shè)備的維護(hù)記錄和檔案，以便對設(shè)備的運(yùn)行情況進(jìn)行跟蹤和管理。

半導(dǎo)體光刻膠重要成分光固化劑甲醇溶劑蒸發(fā)專用閉路循環(huán)沸騰干燥機(jī) 技術(shù)優(yōu)點(diǎn)

  (1) 安全性高
   惰性氣體保護(hù)：設(shè)備內(nèi)部充入惰性氣體（如氮?dú)猓纬蔁o氧或低氧環(huán)境。對于半導(dǎo)體光刻膠重要成分光固化劑這種可能易燃易爆的物料，可有效避免在干燥過程中因接觸氧氣而發(fā)生起火或爆炸事故，保障生產(chǎn)安全。
   嚴(yán)格的密封設(shè)計(jì)：系統(tǒng)全封閉，所有部位包括管道接口、箱體進(jìn)出風(fēng)口等都嚴(yán)格密封，既防止外界空氣進(jìn)入系統(tǒng)，又避免內(nèi)部氣體泄漏，確保整個(gè)干燥過程在安全的環(huán)境下進(jìn)行。
  (2) 溶劑回收效率高
   高效冷凝回收：濕物料中含有的甲醇溶劑氣化后，與惰性氣體一同進(jìn)入冷凝器。冷凝器能夠?qū)⑷苊礁咝Ю淠梢后w，回收率可達(dá)95%以上。回收的甲醇溶劑可以再次循環(huán)使用，既節(jié)約了成本，又減少了資源浪費(fèi)。
環(huán)保wu污染：由于溶劑得到有效回收，基本不會有尾氣排放對環(huán)境造成污染，符合環(huán)保要求。
  (3) 干燥效果好
   充分的氣固接觸：在干燥機(jī)內(nèi)，熱惰性氣體與濕物料充分接觸，物料呈沸騰狀態(tài)，使得物料顆粒之間的空隙增大，熱氣體能夠深入到顆粒內(nèi)部，增大了傳熱傳質(zhì)面積，從而加速了物料中水分的蒸發(fā)，干燥效率高、速度快。
   均勻干燥：設(shè)備內(nèi)部的攪拌裝置或特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠使物料均勻分散，避免了局部過熱或干燥不均勻的情況，保證了干燥后物料的質(zhì)量。
   適應(yīng)易吸潮物料：閉路循環(huán)使得干燥機(jī)內(nèi)部熱濕氣體經(jīng)過冷凝除濕后，氣體內(nèi)的濕度低，干燥能力變強(qiáng)，對于光引發(fā)劑這類對濕度環(huán)境敏感、易吸潮的物料，能夠達(dá)到良好的干燥效果。
  (4) 操作便捷、自動(dòng)化程度高：
   智能控制：系統(tǒng)采用 PLC 編程控制，人機(jī)界面中文屏幕顯示操作，可輸入配方參數(shù)，程序自動(dòng)運(yùn)行，操作方便穩(wěn)定，并且具備嚴(yán)格的互鎖功能，不致產(chǎn)生誤操作。同時(shí)，還可以實(shí)時(shí)監(jiān)測和控制干燥過程中的溫度、壓力、氧氣含量等參數(shù)，確保干燥過程的精準(zhǔn)性和穩(wěn)定性。
   出料方便：帶有翻板機(jī)構(gòu)等出料裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)全密閉條件下的出料，降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，并且避免了物料在出料過程中與外界空氣接觸，保證了物料的質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的清潔。
  (5) 設(shè)備清潔方便：設(shè)備為全密閉結(jié)構(gòu)，無死角，清洗時(shí)方便迅速，能夠有效清除設(shè)備內(nèi)部的積塵、物料殘留和污垢，避免了不同批次物料之間的交叉污染，符合 GMP 標(biāo)準(zhǔn)要求。
  (6) 節(jié)能降耗
   風(fēng)機(jī)功率降低：工作時(shí)內(nèi)部只需微正壓，風(fēng)壓低，設(shè)備配用的風(fēng)機(jī)功率降低，節(jié)約了能源。同時(shí)，風(fēng)機(jī)功率降低后，設(shè)備的噪音也相應(yīng)減小。
   熱量回收利用：在閉路循環(huán)系統(tǒng)中，熱量可以在一定程度上得到回收利用，減少了能源的消耗。